| 出願番号 |
特願2014-511006 |
| 出願日 |
2013/10/3 |
| 出願人 |
国立研究開発法人科学技術振興機構 |
| 公開番号 |
WO2014/054741 |
| 公開日 |
2014/4/10 |
| 登録番号 |
特許第5593007号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人科学技術振興機構 |
| 発明の名称 |
走査型トンネル顕微鏡および観察画像表示方法 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
検査・検出 |
| 適用製品 |
走査型トンネル顕微鏡および観察画像表示方法 |
| 目的 |
既存の走査型トンネル顕微鏡を改修してこれを実現しようとしても、上記のような回路を追加するのに大規模な改修が必要であるため、容易ではない。また、試料表面の化学状態や内部構造を観察することはできない。 |
| 効果 |
本発明によれば、試料表面の化学状態や内部構造を観察することのできる走査型トンネル顕微鏡を容易に実現することができる。 |
技術概要
 |
走査型トンネル顕微鏡は、探針と、探針と試料との間の距離を制御する制御部と、探針と試料との間に直流電圧を印加する電圧印加部と、直流電圧によって探針と試料との間に流れるトンネル電流を計測する計測部と、計測部により計測されたトンネル電流の瞬時値のうち特定の周波数成分を観察値として抽出する抽出部と、抽出部により抽出された観察値に基づいて、試料の表面の化学状態および内部構造のいずれか少なくとも一つに関する情報を含む観察情報を生成する観察情報生成部とを備える。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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