ガス中の微量不純物の分析方法及び装置

開放特許情報番号
L2015000616
開放特許情報登録日
2015/3/25
最新更新日
2015/4/17

基本情報

出願番号 特願平10-249434
出願日 1998/9/3
出願人 日本酸素株式会社
公開番号 特開2000-074882
公開日 2000/3/14
登録番号 特許第3477606号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 ガス中の微量不純物の分析方法及び装置
技術分野 無機材料、化学・薬品
機能 検査・検出
適用製品 ガスクロマトグラフ
目的 ガスクロマトグラフで主成分ガスと不純物成分とを十分に分離できない場合であっても、大気圧イオン化質量分析計での分析の際の主成分ガスの影響を極力低減し、不純物成分を高感度・高精度で分析することができるガス中の微量不純物の分析方法及び装置を提供する。
効果 ガスクロマトグラフにおいて主成分ガスとの分離が困難な不純物成分の分析も、高感度,高精度で行うことできる。
また、大気圧イオン化質量分析計に供給する希釈ガスの流量を増減させるだけの簡単な操作で実施できるので、装置コストの低減が図れるだけでなく、信頼性の向上も図れ、分析に要する時間も短縮できる。
技術概要
 
試料ガス中の主成分ガスと微量不純物とを分離するガスクロマトグラフからの流出ガスに、精製ガスを添加して大気圧イオン化質量分析計に導入することで、試料ガス中の微量不純物を分析する方法において、流出ガスの種類に応じてイオン源部のガス流量が変化するよう、精製ガスの添加量を調節することを特徴とする。
特に、精製ガスの添加量を、流出ガスが試料ガスの主成分ガスであるときに増量することを特徴とする。
さらに、主成分ガスが酸素で、微量不純物が窒素、メタンであることを特徴としている。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

その他の提供特許
登録番号1 4185728
登録番号2 4400973
登録番号3 4590091
関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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