ガス中の微量不純物の分析方法及び分析装置

開放特許情報番号
L2015000610
開放特許情報登録日
2015/3/25
最新更新日
2015/3/25

基本情報

出願番号 特願2002-220419
出願日 2002/7/29
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2004-061321
公開日 2004/2/26
登録番号 特許第4185728号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 ガス中の微量不純物の分析方法及び分析装置
技術分野 無機材料、化学・薬品
機能 検査・検出
適用製品 ガスクロマトグラフ/大気圧イオン化質量分析法
目的 従来のガスクロマトグラフ/大気圧イオン化質量分析法(GC/APIMS)は、分析の感度、精度が不充分なことがあった。例えば、微量不純物の種類によって分析の感度や精度が異なる場合があり、微量不純物の種類によっては精度の良い分析が困難であった。そこで、より高精度の分析が可能なガス中の微量不純物の分析方法及び装置を提供する。
効果 分離カラムからイオン源部の圧力を大気圧よりも高くするという簡便な手法によって、微量不純物の検出感度が大幅に向上し、その分析精度が大きく向上することができた。
技術概要
 
ガスクロマトグラフの分離カラムで試料ガス中の微量不純物を分離し、この微量不純物をイオン源部でイオン化し、質量分離する質量分析装置を用いるガス中の微量不純物の分析方法において、質量分析装置に供給するガスの量と、量分析装置から排出するガスの量とを調整することにより、分離カラムからイオン源部までの圧力を、大気圧よりも高く維持しながら、分析を行うものである。また、質量分析装置から排出するガスの量の調整が、イオン源部の後段側に設けられた排出経路から排出するガスの量と、分離カラムの出口とイオン源部の入口との間に設けられた排出経路から排出するガスの量と、の両方を調整するものであることを特徴とするガス中の微量不純物の分析方法である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

その他の提供特許
登録番号1 3477606
登録番号2 4400973
登録番号3 4590091
関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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