ガス中の微量不純物の分析方法及び装置

開放特許情報番号
L2015000591
開放特許情報登録日
2015/3/25
最新更新日
2015/3/25

基本情報

出願番号 特願平11-354890
出願日 1999/12/14
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2000-283971
公開日 2000/10/13
登録番号 特許第4400973号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 ガス中の微量不純物の分析方法及び装置
技術分野 無機材料、化学・薬品
機能 検査・検出
適用製品 ガスクロマトグラフの下流に大気圧イオン化質量分析計を設置した複合分析計
目的 ガスクロマトグラフの下流に大気圧イオン化質量分析計を設置した複合分析計において、カラムの配置や流路の構成を複雑化することなく、しかも簡単な操作で極微量の不純物の分析を高感度で行うことができるガス中の微量不純物の分析方法及び装置を提供する。
効果 各種ガス中に存在する微量不純物を高感度、高精度で検出することができ、しかも、操作性を損なうことなく、かつ、装置構成を複雑化させることもなく、短時間でppb〜pptレベルの不純物を分析することができる。
技術概要
 
各種高純度ガス中のppb〜サブppbレベルの微量不純物を測定するに際し、ガスクロマトグラフのキャリヤーガス、あるいは、ガスクロマトグラフの流出ガスに添加する精製ガスとしてアルゴンとヘリウムとを混合した混合ガスを用いる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

その他の提供特許
登録番号1 3477606
登録番号2 4185728
登録番号3 4590091
関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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