ガス分析装置

開放特許情報番号
L2015000587
開放特許情報登録日
2015/3/25
最新更新日
2015/3/25

基本情報

出願番号 特願2000-357456
出願日 2000/11/24
出願人 大陽日酸株式会社
公開番号 特開2002-162385
公開日 2002/6/7
登録番号 特許第4590091号
特許権者 大陽日酸株式会社
発明の名称 ガス分析装置
技術分野 無機材料、化学・薬品
機能 検査・検出
適用製品 分離器と分析器とを組合せた分析装置
目的 ガス切換装置を一つに集約することによってガスの滞留を最小限とし、高純度ガス中のppb〜サブppbレベルの不純物を効率よく高精度で分析できるガス分析装置を提供する。
効果 試料ガス中の不純物を直接分析する操作と、ガスクロマトグラフ等の分離器を用いて主成分と不純物とを分離してから分析する操作と、を一台の分析装置で効率よく、迅速かつ確実に行うことができる。また、試料ガスの導入経路が一つであるため、一台の校正装置で直接導入分析と分離分析とに対する校正が可能となる。
技術概要
 
試料ガス源からの試料ガスを分析器導入弁を介して分析器に導入する分析器導入経路と、分析器導入弁の一次側経路から分岐し、分離器導入弁を介して試料ガスを分離器に導入する分離器導入経路と、分離器から導出したガスを分離器導出弁を介して分析器導入弁の二次側経路に導入する分離器導出経路とを備え、分析器導入弁が開又は閉のときに、分離器導入弁及び分離器導出弁が連動して閉又は開となるガス切換装置を備えている。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 大陽日酸株式会社

その他の情報

その他の提供特許
登録番号1 3477606
登録番号2 4185728
登録番号3 4400973
関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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