オゾン水を用いたパターニング方法

開放特許情報番号
L2015000531
開放特許情報登録日
2015/3/23
最新更新日
2015/12/18

基本情報

出願番号 特願2013-558830
出願日 2013/4/25
出願人 国立研究開発法人科学技術振興機構
公開番号 WO2013/161959
公開日 2013/10/31
登録番号 特許第5598829号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 オゾン水を用いたパターニング方法
技術分野 金属材料、電気・電子
機能 材料・素材の製造、環境・リサイクル対策
適用製品 オゾン水を用いたパターニング方法
目的 オゾン水による金属又は金属酸化物のエッチング方法、オゾン水による金属又は金属酸化物表面の平滑化方法、及びオゾン水を用いたパターニング方法を提供する。
効果 環境に負荷を与えるエッチャントを用いることなく、オゾン水のみで、金属をエッチング又は平滑化できることから、環境に負荷を与えず、半導体デバイス等の製造に応用することが期待される。また、原子レベルで金属をエッチング又は平滑化できるので、原子レベルのデバイスの作製に有用であり、自動車分野、医療機器分野、電気電子分野、太陽電池分野、燃料電池分野、人体用部材分野(人工関節等)、半導体分野等の各種金属部品・材料の製造に使用が期待される。
技術概要
オゾンのみを水に溶解したオゾン水でエッチングできる金属又は金属酸化物上に、前記オゾン水に溶解しない金属をレジストとして設け、前記オゾン水でエッチングするパターニング方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

登録者名称 国立研究開発法人科学技術振興機構

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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