フラットディスプレイパネル検査用プローブ基板

開放特許情報番号
L2015000443
開放特許情報登録日
2015/3/10
最新更新日
2015/3/10

基本情報

出願番号 特願2009-026529
出願日 2006/2/21
出願人 奥野 敏雄
公開番号 特開2009-103714
公開日 2009/5/14
登録番号 特許第5161807号
特許権者 奥野 敏雄
発明の名称 フラットディスプレイパネル検査用プローブ基板
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 フラットパネルディスプレイ検査機器
目的 10μm以下の微細電極間隔への一括コンタクトと、コンタクトダメージを軽減するシート状のコンタクトプローブ。
効果 従来のポリイミド等の樹脂基材を用いたシート状コンタクトプローブ対して、プローブ基板を液晶パネルディスプレイと同じ透明ガラスを使用して いるため、検査対象物との位置合せが容易で、且つ 温度・湿度に ほとんど影響されない高精度のシート状コンタクトプローブ。
技術概要
 
薄いガラスのシート基板に、フォトリソグラフィ製法による微細回路の下地配線と、コンタクト部となる微細なバンプ(突起物)を形成したシート状の検査用コンタクトプローブ。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 奥野 敏雄

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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