FIB−SEM複合装置のための傾斜試料ホルダー、FIB−SEM複合装置および該複合装置を用いた固体試料の加工観察方法

開放特許情報番号
L2015000260
開放特許情報登録日
2015/2/18
最新更新日
2015/2/18

基本情報

出願番号 特願2014-064857
出願日 2014/3/26
出願人 公益財団法人神奈川科学技術アカデミー
公開番号 特開2014-209474
公開日 2014/11/6
発明の名称 FIB−SEM複合装置のための傾斜試料ホルダー、FIB−SEM複合装置および該複合装置を用いた固体試料の加工観察方法
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 FIB−SEM複合装置の試料ステージに取り付けて使用される試料ホルダーと、それを用いたFIB−SEM複合装置および固体試料の加工観察方法
目的 FIB装置による固体試料の端面加工とSEM装置による端面と垂直な方向からの観察を、固体試料を試料室から取り出すことなく行うことができる技術手段を提供する。
効果 FIB装置による固体試料の端面加工とSEM装置による端面から垂直な方向からの観察を、固体試料を試料室から取り出すことなく行うことができる。
技術概要
試料ステージ2の載置面に接する底面1aと、底面1aに対して傾斜し、該傾斜に沿って固体試料30を保持する傾斜面1bとを有し、傾斜面1bは、傾斜試料ホルダー1を試料ステージ2の載置面に取り付けた状態で、適宜に試料ステージ2を回転させることによって、FIB装置3の集束イオンビーム軸A↓(FIB)と垂直になり得、かつSEM装置4の電子線軸A↓(SEM)と平行になり得る角度で底面1aに対して傾斜していることを特徴とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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