有機強誘電体結晶性薄膜の製造方法

開放特許情報番号
L2015000086
開放特許情報登録日
2015/1/21
最新更新日
2016/7/29

基本情報

出願番号 特願2014-223187
出願日 2014/10/31
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2016-088790
公開日 2016/5/23
発明の名称 有機強誘電体結晶性薄膜の製造方法
技術分野 無機材料、電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 有機強誘電体からなる結晶性薄膜の製造方法
目的 薄膜の主面に対する面直方向の分極方向成分を有する有機低分子からなる有機強誘電体結晶性薄膜の製造方法の提供。
効果 薄膜の主面に対して面直方向に分極方向成分を与えるように有機低分子からなる有機強誘電体を結晶成膜する薄膜の製造方法の提供できる。
技術概要
有機強誘電体からなる結晶性薄膜の製造方法であって、
平面基板の主面上に有機強誘電体化合物を溶媒に溶解させた溶液を与える溶液付与ステップと、
前記主面に沿ってブレード板の縁部を配置し、前記縁部近傍と前記基板との間に前記溶液を介在させつつ前記主面上を前記縁部で一方向に掃くように前記ブレード板を移動させる移動ステップと、を含み、
前記移動ステップは、前記溶媒を蒸発させて前記有機強誘電体化合物を晶出させつつこれを前記ブレード板の移動方向に結晶成長させて成膜することを特徴とする有機強誘電体結晶性薄膜の製造方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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