| 出願番号 |
特願2014-214167 |
| 出願日 |
2014/10/21 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2016-080605 |
| 公開日 |
2016/5/16 |
| 登録番号 |
特許第6404080号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
クロスキャパシタを用いた微小力および微小質量の測定装置 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
クロスキャパシタを用いて微小力を発生させる方法、微小力と重力加速度の値から微小な質量を計測する方法、当該方法を用いた測定装置 |
| 目的 |
静電容量の変化率ｄＣ／ｄｚを校正することを必要としない力または質量の測定装置を提供する。 |
| 効果 |
静電容量の変化率ｄＣ／ｄｚが理論計算により求まる一定の値となるので、従来の同軸二重円筒形法で必須だったｄＣ／ｄｚの校正が不必要となり、ｄＣ／ｄｚを測定する際の相対標準不確かさであった１０↑（-4）〜１０↑（-3）を３桁以上改善することができる。 |
技術概要
 |
鉛直に配置した４本の電極からなるクロスキャパシタと、対向する電極２組に電圧Ｕを印加する直流電源と、バランス機構により鉛直方向にのみ移動可能に支持されかつ風袋物の重量を相殺されるとともにその上部が前記クロスキャパシタ内に挿入されている可動ガード電極と、可動ガード電極の位置測定器と、電圧Ｕを制御する制御装置を備え、前記制御装置は、位置測定器の測定信号の値が前記可動ガード電極に荷重ｍｇを掛ける前と後で変化しないように電圧Ｕを印加制御することにより、前記電圧Ｕで発生する静電力と前記荷重ｍｇを釣り合わせ、ε↓0を前記対向する電極間の誘電率としたとき、式ｍｇ＝(ε↓0ｌｎ２)・(１／π)・Ｕ↑2（ｍは質量、ｇは重力加速度）により質量ｍを算出する質量測定装置。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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