クロスキャパシタを用いた微小力および微小質量の測定装置

開放特許情報番号
L2015000079
開放特許情報登録日
2015/1/21
最新更新日
2016/7/29

基本情報

出願番号 特願2014-214167
出願日 2014/10/21
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2016-080605
公開日 2016/5/16
発明の名称 クロスキャパシタを用いた微小力および微小質量の測定装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 クロスキャパシタを用いて微小力を発生させる方法、微小力と重力加速度の値から微小な質量を計測する方法、当該方法を用いた測定装置
目的 静電容量の変化率dC/dzを校正することを必要としない力または質量の測定装置を提供する。
効果 静電容量の変化率dC/dzが理論計算により求まる一定の値となるので、従来の同軸二重円筒形法で必須だったdC/dzの校正が不必要となり、dC/dzを測定する際の相対標準不確かさであった10↑(-4)〜10↑(-3)を3桁以上改善することができる。
技術概要
鉛直に配置した4本の電極からなるクロスキャパシタと、対向する電極2組に電圧Uを印加する直流電源と、バランス機構により鉛直方向にのみ移動可能に支持されかつ風袋物の重量を相殺されるとともにその上部が前記クロスキャパシタ内に挿入されている可動ガード電極と、可動ガード電極の位置測定器と、電圧Uを制御する制御装置を備え、前記制御装置は、位置測定器の測定信号の値が前記可動ガード電極に荷重mgを掛ける前と後で変化しないように電圧Uを印加制御することにより、前記電圧Uで発生する静電力と前記荷重mgを釣り合わせ、ε↓0を前記対向する電極間の誘電率としたとき、式mg=(ε↓0ln2)・(1/π)・U↑2(mは質量、gは重力加速度)により質量mを算出する質量測定装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT