エレクトレット素子及びその製造方法、センサー、電子回路並びに入力装置

開放特許情報番号
L2015000067
開放特許情報登録日
2015/1/21
最新更新日
2018/8/21

基本情報

出願番号 特願2016-552074
出願日 2015/9/29
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 WO2016/052525
公開日 2016/4/7
登録番号 特許第6342505号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 エレクトレット素子及びセンサー
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 材料・素材の製造、機械・部品の製造
適用製品 エレクトレット素子及びその製造方法、並びに、エレクトレット素子を備える、センサー、電子回路及び入力装置
目的 薄くて柔軟性の高い圧力検知型の高精度・高感度タッチセンサー等に使用可能な素子、素子の製造方法、並びに素子を利用したセンサー、電子回路及び入力装置を提供する。
効果 押圧時の印加圧力によって、高い表面電位を持つエレクトレット表面と半導体表面間のギャップが変化し、このギャップの変化と半導体内に形成される伝導チャネルの伝導度とが相関を持つことを利用して圧力を検知できるため、高感度な圧力検知が可能となる。
押圧時等の印加圧力によって、高い表面電位を持つエレクトレット表面と接する半導体内に形成される伝導チャネルの伝導度が変化することを利用して圧力を検知できるため、高感度な圧力検知が可能となる。
技術概要
一対の電極で挟まれた半導体と、該半導体の表面に設置されたエレクトレット部材とからなる積層構造を有することを特徴とするエレクトレット素子。
前記エレクトレット部材がプラスもしくはマイナスに帯電された状態を半永久的に保持することを特徴とするエレクトレット素子。
前記エレクトレット部材の前記半導体との接触状態が変化することにより、前記一対の電極間に流れる電流量を制御することを特徴とするエレクトレット素子。
ノイズ除去のための構造を備えることを特徴とするエレクトレット素子。
一対の電極で挟まれた半導体と、該半導体の表面に設置されたエレクトレット部材とからなる積層構造を有するエレクトレット素子を備え、かつ前記一対の電極間に流れる電流量を測定することにより、前記エレクトレット部材の前記半導体との接触状態が変化することを検出することを特徴とするセンサー。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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