加熱型誘導結合プラズマトーチ

開放特許情報番号
L2014002349
開放特許情報登録日
2014/12/18
最新更新日
2016/6/24

基本情報

出願番号 特願2014-187660
出願日 2014/9/16
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2016-061586
公開日 2016/4/25
発明の名称 加熱型誘導結合プラズマトーチ
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 加熱型誘導結合プラズマトーチ
目的 小型で脱溶媒能力に優れるとともに、酸、アルカリを含むか否かを問わず、微細液滴試料、高温気体試料のいずれの分析対象に対しても安定してプラズマに導入することができ、かつ、高感度の分析を実現可能な加熱型誘導結合プラズマトーチを提供すること。
効果 、小型で脱溶媒能力に優れるとともに、酸、アルカリを含むか否かを問わず、微細液滴試料、高温気体試料のいずれの分析対象に対しても安定してプラズマに導入することができ、かつ、高感度の分析を実現可能な加熱型誘導結合プラズマトーチを提供することができる。
技術概要
少なくとも、管内に霧状又は気体状の試料及び前記試料を運ぶキャリアガスが流送される中心管と、前記中心管との間に間隔を空け補助ガス流路が形成される状態で外挿される中間管と、前記中間管との間に間隔を空けプラズマガス流路が形成される状態で外挿される外側管との三重管構造を有するトーチ本体部が配され、前記中心管は、発熱体がセラミックス管体中に埋設された状態で焼結される管状セラミックスヒータで構成されることを特徴とする加熱型誘導結合プラズマトーチ。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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