電子機械スイッチの製造方法

開放特許情報番号
L2014002169
開放特許情報登録日
2014/11/6
最新更新日
2015/10/12

基本情報

出願番号 特願2010-163606
出願日 2010/7/21
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2012-028056
公開日 2012/2/9
登録番号 特許第5626972号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 電子機械スイッチの製造方法
技術分野 電気・電子、化学・薬品、輸送
機能 機械・部品の製造
適用製品 電子機械スイッチ及びその製造方法
目的 スティクションを回避し、かつ、優れた機械摩擦性を持つ単結晶ダイヤモンドからなるナノおよびマイクロ電子機械スイッチを作製する方法を提供する。
効果 全単結晶ダイヤモンドのナノまたはマイクロ電子機械スイッチを作製する方法を提供でき、固着(スティクション)性を低減し、駆動電圧を低くし、機械摩擦性及び耐電力性を高め、スイッチング時間を短時間としたナノまたはマイクロ電子機械スイッチを作製する方法を提供することができる。
本発明の電子機械スイッチ及びその製造方法は、ダイヤモンドを利用した無線通信領域で電子機械デバイス、ディジタルロジック回路、センサおよびメモリデバイスに応用展開でき、無線通信センサの製造産業及びそれを利用する産業において利用可能性がある。
技術概要
ダイヤモンド単結晶基板の内部にグラファイト層を形成する工程と、
前記ダイヤモンド単結晶基板の一面を覆うように不純物元素を添加したダイヤモンドエピタキシャル層を形成する工程と、
前記一面に溝部を形成して第1の凸部と第2の凸部を形成する工程と、
前記グラファイト層を除去して、前記一面との間に空間部が備えられた可動構造部を形成する工程と、
前記第1の凸部に第1の電極部を形成するとともに、前記第2の凸部に第2の電極部を形成する工程と、を有することを特徴とする電子機械スイッチの製造方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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