薄膜アクチュエータの製造方法

開放特許情報番号
L2014002099
開放特許情報登録日
2014/10/30
最新更新日
2015/8/19

基本情報

出願番号 特願2011-004904
出願日 2011/1/13
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2012-145055
公開日 2012/8/2
登録番号 特許第5757518号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 薄膜アクチュエータの製造方法
技術分野 機械・加工
機能 材料・素材の製造
適用製品 薄膜アクチュエータの製造方法
目的 形状変化が大きく、変形量の大きさや方向の制御が容易であるとともに、使用による性能の劣化を抑制した薄膜アクチュエータの製造方法を提供する。
効果 本発明の薄膜アクチュエータの製造方法は、形状の変化が大きく、形状変化の大きさや方向の制御が容易であるとともに、使用による性能の劣化を抑制した薄膜アクチュエータの製造方法に関するものであり、薄膜アクチュエータを製造・利用するデバイス産業等において利用可能性がある。
技術概要
樹脂薄膜と形状記憶合金薄膜とを積層してなる積層薄膜を拘束加熱することを特徴とする薄膜アクチュエータの製造方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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