| 出願番号 |
特願2011-052950 |
| 出願日 |
2011/3/10 |
| 出願人 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 |
特開2012-188315 |
| 公開日 |
2012/10/4 |
| 登録番号 |
特許第5721100号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 発明の名称 |
金属酸化物からなる板状単結晶体、その金属酸化物薄膜、それらの製造方法、および、それらを用いた抵抗変化型素子 |
| 技術分野 |
無機材料、化学・薬品 |
| 機能 |
材料・素材の製造、加熱・冷却 |
| 適用製品 |
板状単結晶体、その金属酸化物薄膜、それらの製造方法、および、それを用いた抵抗変化型素子 |
| 目的 |
金属酸化物からなる板状単結晶体、それを用いた金属酸化物薄膜、それらの製造方法、および、それらを用いた抵抗変化型素子を提供する。 |
| 効果 |
本発明による板状単結晶体は、抵抗変化型素子に適用でき、精密な配列制御、新規な材料の設計を可能にする。また、任意の基材の上に容易に配向させることができる。
特殊な装置を不要とするので低コストで金属酸化物薄膜を提供でき、その大面積化を可能にする。
マイクロまたはナノメートルサイズの小型素子となり得、これを実装すればメモリ全体の超小型化を達成できる。
また、ビルディングブロック、超小型抵抗変化型素子、センサに適用される。本発明の金属酸化物薄膜は、抵抗変化型素子およびセンサに適用される。 |
技術概要
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本発明による板状単結晶体は、ＭＯまたはＭ↓３Ｏ↓４（ここで、Ｍは、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉ、ＺｎおよびＣｕからなる群から少なくとも１つ選択される金属元素である）で表される金属酸化物からなり、その形状は、六角形状であり、そのアスペクト比は、１０〜５００であり、平面方向の面は、（１１１）結晶面である。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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