表面増強赤外吸収センサーの製造方法

開放特許情報番号
L2014002042
開放特許情報登録日
2014/10/23
最新更新日
2015/10/12

基本情報

出願番号 特願2012-144529
出願日 2008/9/5
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2012-233903
公開日 2012/11/29
登録番号 特許第5476574号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 表面増強赤外吸収センサーの製造方法
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 表面増強赤外吸収センサーの製造方法
目的 高感度で再現性にすぐれた表面増強赤外吸収(SEIRA)センサーの製造技術を提供する。
効果 より簡便・安価に製造でき、より高感度で再現性にすぐれた表面増強赤外吸収(SEIRA)センサーとその製造方法を提供することが可能となる。また、本発明によれば、活性膜を製作しながらその活性度をその場(in situ)で評価し、高感度なSEIRA活性膜を簡便・迅速に再現性良く製造する技術が提供される。
本手法で製造するセンサー材料を用いた化学センサー、ガスセンサー、バイオセンサーや、それらを応用したコンビナトリアルケミストリー、医療診断用計測器への適用も可能である。
技術概要
以下のステップ(ア)から(ウ)を設けた、複数の金属ナノ薄膜の基板上における2次元充填率が0.7以上1未満である、表面増強赤外吸収センサーの製造方法。
(ア)溶液中に分散した金属ナノ粒子を誘電体基板表面に吸着させる。
(イ)前記吸着した金属ナノ粒子を溶液中で成長させることにより、前記誘電体基板表面に、扁平且つ互いに分断され島状に配置された複数の金属ナノ薄膜を製膜する。
(ウ)前記ステップ(イ)を行っている間、前記基板の金属ナノ薄膜が配置されている側とは反対側の面から赤外光を照射し、前記基板から染み出したエバネッセント波を用いて前記複数の金属ナノ薄膜の赤外吸収シグナルをその場モニターして吸収スペクトルの変化を評価することにより、前記複数の金属薄膜が十分に扁平に成長して、しかも前記金属ナノ薄膜同士が繋がり始め系全体が導電性を発現する直前に前記成長を停止する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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