高誘電性ナノシート積層体、高誘電性ナノシート積層体、高誘電体素子、および高誘電体薄膜素子の製造方法

開放特許情報番号
L2014002039
開放特許情報登録日
2014/10/23
最新更新日
2016/4/19

基本情報

出願番号 特願2011-112462
出願日 2011/5/19
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2012-240884
公開日 2012/12/10
登録番号 特許第5885150号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 高誘電性ナノシート積層体、高誘電性ナノシート積層体、高誘電体素子、および高誘電体薄膜素子の製造方法
技術分野 化学・薬品、無機材料、電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 高誘電性ナノシート積層体とその製造方法、並びにこの高誘電体薄膜を使用した高誘電体素子及びその製造方法
目的 コンデンサなどに好適な、非常に薄くしても高い誘電率と良好な絶縁特性を同時に実現する高誘電体薄膜を提供する。
効果 ペロブスカイト構造酸化物の有する独自の高誘電特性および高い構造制御性を活用した、極めて薄くしかも高誘電性を有するナノシート積層体及びその応用製品を提供することができる。
従来の材料の中で最小の薄膜で機能し、かつ高い誘電率と良好な絶縁特性を同時に実現でき、室温、低コストの溶液プロセスにより素子の製造をすることができる。
従来、実装が困難であった樹脂基板等への高誘電体薄膜の製膜やコンデンサの実装が可能となる。
技術概要
NbO↓6八面体、TaO↓6八面体もしくはTiO↓6八面体を単位格子内に少なくとも4個内包したペロブスカイト構造を有する酸化物の厚み10nm以下のナノシートを積層した、高誘電性ナノシート積層体。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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