真空計と汚染診断方法

開放特許情報番号
L2014002030
開放特許情報登録日
2014/10/21
最新更新日
2016/10/3

基本情報

出願番号 特願2015-112612
出願日 2015/6/2
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2016-033509
公開日 2016/3/10
発明の名称 真空計と汚染診断方法
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出
適用製品 真空計と真空計の汚染度を診断する方法
目的 簡易な構成により真空計の汚染度を精度よく診断できる真空計や、簡易な手順により真空計の汚染度を精度よく診断できる汚染度診断方法を提供する。
効果 簡易な構成により真空計の汚染度を精度よく診断できる真空計や、簡易な手順により真空計の汚染度を精度よく診断できる汚染度診断方法を提供することができる。
また、汚染診断後に、汚染診断モードから通常動作モードに戻す時も、同様の動作を行うことで、スムーズに放電を切り替えることができる。
本真空計の健全性を確保することにより、当該真空装置全体をより深刻な汚染から守ることができることになる。
技術概要
通常動作モードと汚染診断モードとを有する真空計であって、通常動作モードで真空圧力を測定するための陽極1及び陰極3と、汚染診断モードで上記真空圧力を測定するための陽極7及び陰極3と、陽極7及び陰極3間で測定された電流の大きさと陽極1及び陰極3間で測定された電流の大きさとを比較するコントローラ10とを備えた冷陰極電離真空計を提供する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT