直径分布測定装置

開放特許情報番号
L2014002028
開放特許情報登録日
2014/10/21
最新更新日
2016/5/27

基本情報

出願番号 特願2014-153793
出願日 2014/7/29
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2016-031285
公開日 2016/3/7
発明の名称 直径分布測定装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 レーザ回折を利用した細線の直径分布測定装置
目的 レーザ回折によって360°の角度範囲に亘った直径分布を測定可能とする。
効果 360°の角度範囲で正確な直径測定ができ、直径の角度分布が全角度範囲で正確に求めることができ、下端のおもりによって細線は一直線状に鉛直に吊り下げ支持される。回転ステージを上下方向にも移動位置決めできるので、試験片である細線の長さ方向に沿って多数箇所での直径測定が行え、直径の長さ方向の分布も正確に求めることができる。らせん状にねじれている形状を推定することもできる。
測定者による計測誤差を減少できる。
レーザ光源、回転ステージに吊り下げ支持された細線、配列光学センサーを一直線状に整列させる位置調整が容易である。
技術概要
細線の一端に固定する上端固定部材と、細線の他端に固定するおもりと、レーザ光源と、配列光学センサーと、前記上端固定部材を支持固定する支持具を設けた回転ステージを備えた回転ステージ装置と、配列光学センサーの出力を処理する制御装置とからなる直径分布測定装置であって、前記回転ステージ装置は、回転ステージを鉛直な回転軸の回りに360°の角度範囲内に亘って回転位置決めする回転位置決め手段と、回転ステージを上下方向に亘って位置決めする上下方向位置決め手段とを有し、レーザ光源からのレーザ光束中に細線を配置し、レーザ回折像を前記配列光学センサー上に結ばせ、配列光学センサーの出力分布から中心に最も近い一対の回折像暗部間の距離求めて直径を算出することを特徴とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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