酸化物単結晶

開放特許情報番号
L2014001981
開放特許情報登録日
2014/10/16
最新更新日
2015/10/9

基本情報

出願番号 特願2013-068391
出願日 2008/7/25
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2013-151425
公開日 2013/8/8
登録番号 特許第5660582号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 酸化物単結晶
技術分野 無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 酸化物単結晶
目的 透過率が向上した酸化物単結晶を提供する。
効果 単結晶の吸収端が短波長側にシフトし、透過率が向上する。
また、フッ素が酸化物単結晶中の酸素欠損を埋めることにより、結晶中の欠陥によって生じる吸収端近傍における透過率が向上する。
本発明の酸化物単結晶は、液浸露光装置のレンズ(光学部品)、高い透過率を利用したレンズ材料などに好適である。
また、屈折率が高いため、プリズムおよび窓材などの光学部品にも適用可能であり、液浸露光装置および半導体関連機器ならびに撮像装置および顕微鏡などの光学関連機器に用いることができる。
技術概要
酸化物単結晶であって、酸化物単結晶中の酸素原子と置換するかまたは酸素欠損を埋めるかのいずれか一方または両方を行う元素としてフッ素を含有している。前記フッ素の含有量が5mol%以下である。前記フッ素を含有する前記酸化物単結晶の透過スペクトルの吸収端は、前記フッ素を含有しない酸化物単結晶の透過スペクトルの吸収端よりも短波長側にあり、透過スペクトルの吸収端からの立ち上がりは、フッ素を含有しない酸化物単結晶の立ち上がりよりも大きい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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