オゾンビーム発生装置

開放特許情報番号
L2014001865
開放特許情報登録日
2014/10/2
最新更新日
2017/2/24

基本情報

出願番号 特願2012-132445
出願日 2012/6/12
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2013-256398
公開日 2013/12/26
登録番号 特許第6061240号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 オゾンビーム発生装置
技術分野 化学・薬品、無機材料
機能 機械・部品の製造、表面処理
適用製品 オゾンビーム発生装置
目的 低濃度オゾンガスを濃縮して純粋オゾンとすることなく、低濃度オゾンガスのままで、真空中で行われる酸化処理プロセス及び酸化力を利用した表面処理プロセスに用いて好適なオゾンビーム発生装置を提供する。
効果 オゾンガス中のオゾンを失うことなく、高真空もしくは超高真空中に導入できる優れた性能を有しており、15%以下の安全な低濃度オゾンガスを使い、オゾンビームを高真空もしくは超高真空中で使う安全な環境を提供できる。
また、高真空もしくは超高真空中で純オゾンビームを用いることで、高品位の高価数酸化物を低温生成できる。
本発明に拠るオゾンビーム発生装置は、酸化物表面の研究や材料開発を促進するのみならず生産工程における清浄化処理あるいは酸化処理の高性能化によって生産性の向上が見込まれる。
技術概要
微少流量調整弁を真空容器内部に配置することにより、オゾン含有ガスを粘性流のまま微少流量調整弁にまで供給し、粘性流によって微少流量調整弁に到達できたオゾン成分を微少流量調整弁から分子流の真空容器内に直接噴射し、オゾンビームを生成する方法及び装置を提供する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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