コア/シェル構造金属酸化物マイクロベルト、その製造方法、湿度センサー及び歪みセンサー

開放特許情報番号
L2014001836
開放特許情報登録日
2014/10/2
最新更新日
2015/12/18

基本情報

出願番号 特願2012-243074
出願日 2012/11/2
出願人 国立研究開発法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2013-250256
公開日 2013/12/12
発明の名称 コア/シェル構造金属酸化物マイクロベルト、その製造方法、湿度センサー及び歪みセンサー
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出、材料・素材の製造
適用製品 コア/シェル構造金属酸化物マイクロベルト、その製造方法、湿度センサー及び歪みセンサー
目的 水分子を吸着しやすい表面を有し、また、水分子の吸着量が高く、水分子の吸着により、抵抗値を大きく変化させることが可能なコア/シェル構造金属酸化物マイクロベルト、その容易な製造方法、高感度の湿度センサー及び歪みセンサーを提供する。
効果 シェル部の表面積が大きいので水分子の吸着量を多くでき、水分子の吸着により抵抗値を大きく変化させることができる。
製造コストを低減できるとともに、製造するコア/シェル構造金属酸化物マイクロベルトの性能を安定化できる。
高感度の湿度センサー又は歪みセンサーを提供できる。
技術概要
平板状のコア部31と、コア部31を覆うように形成されたシェル部21とからなる平板状の構造体であって、前記コア部が絶縁性又は抵抗率ρが1kΩcm以上の高抵抗性の金属酸化物からなり、前記シェル部が酸化すず、酸化亜鉛又は酸化インジウムのいずれか一又は二以上の金属酸化物からなるコア/シェル構造金属酸化物マイクロベルト11を用いることによって前記課題を解決できる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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