| 出願番号 |
特願2012-177153 |
| 出願日 |
2012/8/9 |
| 出願人 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 |
特開2013-253009 |
| 公開日 |
2013/12/19 |
| 登録番号 |
特許第5984089号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 発明の名称 |
スピンコート法によりナノシート単層膜からなる薄膜を製造する方法、それによる超親水化材料、酸化物薄膜用基板、および、誘電体材料 |
| 技術分野 |
化学・薬品、無機材料 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
スピンコート法によりナノシート単層膜からなる薄膜を製造する方法、および、それによって得られる薄膜の用途 |
| 目的 |
ナノシート単層膜からなる薄膜の製造方法およびそれによって得られる薄膜の用途を提供すること。 |
| 効果 |
スピンコートを用いることにより、ナノシート単層膜を簡便な操作で短時間に得ることができる。また、スピンコートによりナノシートが稠密に配列した良質なナノシート単層膜が得られる。好ましくは、本発明による製造方法は、特定の無機層状物質において、剥離して得られるナノシートの特定の大きさごとに、特定の濃度と特定の回転数とを満たすことにより、ナノシート単層膜を簡便な操作で短時間に確実に得ることができる。
簡便かつ高品質に製造できるので、超親水化材料、誘電体材料、および、シード層を備えた基板の製造コストを削減できる。 |
技術概要
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本発明によるスピンコート法によりナノシート単層膜からなる薄膜を製造する方法は、無機層状物質が単層剥離されたナノシートが有機溶媒に分散された有機溶媒ゾルを調製するステップと、有機溶媒ゾルを基板に滴下し、スピンコータを用いて、基板を回転させるステップとを包含する。好ましくは、ナノシートの大きさ、有機溶媒ゾルの濃度およびスピンコータの回転数を制御する。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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