適用製品
スピンコート法によりナノシート単層膜からなる薄膜を製造する方法、および、それによって得られる薄膜の用途
目的
ナノシート単層膜からなる薄膜の製造方法およびそれによって得られる薄膜の用途を提供すること。
効果
スピンコートを用いることにより、ナノシート単層膜を簡便な操作で短時間に得ることができる。また、スピンコートによりナノシートが稠密に配列した良質なナノシート単層膜が得られる。好ましくは、本発明による製造方法は、特定の無機層状物質において、剥離して得られるナノシートの特定の大きさごとに、特定の濃度と特定の回転数とを満たすことにより、ナノシート単層膜を簡便な操作で短時間に確実に得ることができる。
簡便かつ高品質に製造できるので、超親水化材料、誘電体材料、および、シード層を備えた基板の製造コストを削減できる。
技術概要
本発明によるスピンコート法によりナノシート単層膜からなる薄膜を製造する方法は、無機層状物質が単層剥離されたナノシートが有機溶媒に分散された有機溶媒ゾルを調製するステップと、有機溶媒ゾルを基板に滴下し、スピンコータを用いて、基板を回転させるステップとを包含する。好ましくは、ナノシートの大きさ、有機溶媒ゾルの濃度およびスピンコータの回転数を制御する。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
