太陽電池の熱処理装置

開放特許情報番号
L2014001709
開放特許情報登録日
2014/9/15
最新更新日
2014/9/15

基本情報

出願番号 特願2010-508110
出願日 2009/4/14
出願人 本田技研工業株式会社
公開番号 WO2009/128253
公開日 2009/10/22
登録番号 特許第5244170号
特許権者 本田技研工業株式会社
発明の名称 太陽電池の熱処理装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 薄膜太陽電池の製造方法、カルコパイライト型の太陽電池の熱処理装置
目的 装置内の温度の均一性、雰囲気循環の均一性を促進することにより、高品質なCIGS光吸収層を得ることができるカルコパイライト型太陽電池の熱処理装置を提供する。
効果 簡単な構成で雰囲気ガスの対流を促進させ、ガス温度が低くなりやすい基板中心部にも積極的に加熱されたガスを送風することが可能となるため、基板間温度の差を低減することができ、高品質なCIGS光吸収層を形成することができ、これにより、太陽電池の性能の向上および均一化をはかることができる。また、本発明のカルコパイライト型太陽電池の熱処理装置は、駆動機構を持たない簡単な構成で実現できるため、装置の長期信頼性が向上できる。
技術概要
カルコパイライト型太陽電池の光吸収層を形成する際に行うセレン化処理または硫化処理のための熱処理装置において、石英チューブの内部に、複数の太陽電池基板が板厚方向に一定の間隙を設けて並列に配置され、石英チューブの外側部に配置され、雰囲気ガスを加熱する加熱機構と、基板の上部に配置され、石英チューブの内側面に沿って上昇する加熱された雰囲気ガスを、上方から基板の中心部に導風する第1の導風板とを備える。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【有】   
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