カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法およびその装置

開放特許情報番号
L2014001705
開放特許情報登録日
2014/9/15
最新更新日
2014/9/15

基本情報

出願番号 特願2008-105556
出願日 2008/4/15
出願人 本田技研工業株式会社
公開番号 特開2009-259938
公開日 2009/11/5
登録番号 特許第5006245号
特許権者 本田技研工業株式会社
発明の名称 カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法およびその装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 薄膜太陽電池の製造方法、薄膜太陽電池のバッファ層成膜方法およびその装置
目的 カルコパイライト型薄膜太陽電池のバッファ層成膜において、大型基板に対応し、原料溶液使用量の低減化、膜厚均一性に優れた高品質なバッファ層を得る方法を提供する。
効果 カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造におけるバッファ層形成工程において環境負荷を低減させ、かつ低コスト化および高品質化を実現することができる。
技術概要
少なくともI族、III族およびVI族元素を含むp型の光吸収層が形成された裏面電極層を形成した基板を支持し、加熱するヒータ内蔵サセプタと、
上記ヒータ内蔵サセプタを付加的に加熱するための加熱手段と、
還元薬品と原料薬品を混合して薬液導入ノズルに混合薬液を送る薬液混合手段と、
上記基板面に上記混合薬液を滴下する薬液導入ノズルと、
滴下された上記混合薬液を保持する反応槽と、を有し、
上記薬液が上記ヒータにより加熱された上記基板と接触して加熱されることにより、上記基板の上記光吸収層上へのバッファ層の成膜が行われることを可能とした
ことを特徴とするカルコパイライト型薄膜太陽電池の製造装置。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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