薄膜太陽電池の製造方法および製造装置

開放特許情報番号
L2014001680
開放特許情報登録日
2014/9/15
最新更新日
2016/7/27

基本情報

出願番号 特願2012-037221
出願日 2012/2/23
出願人 本田技研工業株式会社
公開番号 特開2013-172139
公開日 2013/9/2
登録番号 特許第5936876号
特許権者 本田技研工業株式会社
発明の名称 薄膜太陽電池の製造方法および製造装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 薄膜太陽電池の製造方法
目的 同一加工ヘッドに搭載された切削手段が加速状態にあっても、レーザ照射手段を基板に対して等速で移動させ、コンタクト電極部の品質を向上。
効果 素子分離溝とコンタクト電極部との間に発電に寄与しない部分が生じることを抑制することができるのは勿論のこと、さらに、加工ヘッドが太陽電池素子上で静止状態から加速して等速になるまでの間は切削手段による分離溝の形成のみを行い、加工ヘッドが等速状態に移行した後にレーザ照射手段によるコンタクト電極部の形成が開始される。これにより、ニードルが基板と衝突して破損することを防止しつつ、かつ、レーザが照射される全ての部位への照射時間すなわちレーザ出力を均一にすることができ、コンタクト電極部の品質を安定化させることができる。
技術概要
基板上の裏面電極成膜工程、これを切削分割する工程、分割裏面電極上の光吸収層及び透明電極成膜工程、光吸収層及び透明電極を機械切削する素子分離工程、分離溝に隣接する光吸収層及び透明電極にレーザ照射しコンタクト電極を形成するコンタクト電極形成工程を備えた薄膜太陽電池の製造方法。素子分離及びコンタクト電極形成工程は、切削手段及び照射手段が共に搭載された加工ヘッドを素子に対して相対に移動させながら行い切削手段を素子上に載置して加工ヘッドを静止状態とする段階、加工ヘッドを静止状態から素子上を加速して切削手段による溝形成の開始段階、加工ヘッドが加速から等速に達した後、形成された溝に隣接する透明電極及び光吸収層に等速状態でレーザ照射を開始する段階を備える。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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