超高純度窒素ガスの精製方法

開放特許情報番号
L2014001599
開放特許情報登録日
2014/9/4
最新更新日
2016/8/1

基本情報

出願番号 特願2011-258366
出願日 2011/11/26
出願人 国立研究開発法人農業環境技術研究所
公開番号 特開2013-112547
公開日 2013/6/10
登録番号 特許第5852422号
特許権者 国立研究開発法人農業・食品産業技術総合研究機構
発明の名称 超高純度窒素ガスの精製方法
技術分野 化学・薬品、無機材料、機械・加工
機能 材料・素材の製造、加圧・減圧
適用製品 超高純度窒素ガスの精製方法
目的 ガスボンベを使用せずに99.999%以上の超高純度窒素ガスを製造する。
効果 本発明により、99.999%以上の超高純度窒素ガスを、ガスボンベを使用せずに製造することができる。
高圧窒素ボンベを使用しないことにより、大幅にコストが縮減されるほかに、研究所・事業所等における安全管理へも貢献できる。
また、離島、遠隔地等ガスボンベの頻繁な運搬に適さない場所においても、超高純度窒素ガスの簡易な利用を可能とする。
技術概要
室内の空気をコンプレッサーにより5〜8気圧に圧縮した空気を、モイスチャートラップ及びオイルミストラップを通過させる第1の工程と、水分離膜内蔵管を通過させる第2の工程と、炭化水素除去管および酸素窒素分離膜内蔵管を少なくとも反復通過させる第3の工程とからなることを特徴とする高純度窒素ガスの精製方法であり、前記第3の工程後に微量不純物吸着管および微量酸素・水除去管を通過させる工程が含まれることが好ましく、前記第2の工程後で、第3の工程の前又は後に、有機物燃焼触媒管および吸湿剤管を通過させる工程が含まれることが好ましい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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