カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法

開放特許情報番号
L2014001588
開放特許情報登録日
2014/9/1
最新更新日
2014/9/1

基本情報

出願番号 特願2006-512934
出願日 2005/4/12
出願人 本田技研工業株式会社
公開番号 WO2005/109525
公開日 2005/11/17
登録番号 特許第4680183号
特許権者 本田技研工業株式会社
発明の名称 カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法
技術分野 電気・電子
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法
目的 電極層とCIGS光吸収層との密着性が良好であり、光電変換効率の向上のためにアルカリ層を形成するアルカリ金属含有液の濃度を比較的高くしても、積層構造が安定で、かつ外観上の問題を生じないカルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法を提供する。
効果 本発明は、光吸収層がカルコパイライト系化合物(CIGS)からなる薄膜太陽電池の製造に適用され、特に、外観不良がなく内部構造が安定な薄膜太陽電池を製造することができる。
CIGSの結晶成長が抑制され、安定的な層間構造を得ることができ、斑状のしみの発現による外観上の欠陥が生じ難くなる。
また、基板材質のアルカリ金属含有量に応じて、アルカリ金属含有液の濃度を適宜変更することにより、太陽電池の光電変換効率の向上を達成することが可能となる。
技術概要
本発明の方法は、Mo電極層2上にIn金属層とCu−Ga合金層とをスパッタリング法により積層したプリカーサを形成する第1工程と、プリカーサにアルカリ金属含有液を付着する第2工程と、第1及び第2の両工程を経た基板1に対してセレン化処理を行うセレン化工程と、光透過性の導電層を成膜する透明電極形成工程とからなる。アルカリ金属含有液としては、四ホウ酸ナトリウム、硫化ナトリウム、硫酸ナトリウムアルミニウム等のアルカリ金属化合物の水溶液が用いられる。
実施実績 【有】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【有】   
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