カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法

開放特許情報番号
L2014001585
開放特許情報登録日
2014/9/1
最新更新日
2014/9/1

基本情報

出願番号 特願2005-017322
出願日 2005/1/25
出願人 本田技研工業株式会社
公開番号 特開2006-210424
公開日 2006/8/10
登録番号 特許第4471855号
特許権者 本田技研工業株式会社
発明の名称 カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法
目的 確実な光電変換効率の向上を得られ、かつ、製品外観上満足できるカルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法を提供する。
効果 本発明によれば、結晶化促進のための光吸収層への付着溶液の濃度を低く抑えることができ、水溶液の付着ムラに起因する斑状しみの発生を抑制することができる。
また、本発明のプリカーサ工程構成を用いることで、不安定な膜構造となることを抑制できる。
また、本発明の方法によるアルカリ層形成は、ガラス基板由来のアルカリ成分の効果を独立に得ることができる。
そのため、本発明は、外観性能や安定内部構造を備えた薄膜太陽電池の製造に活用可能である。
技術概要
基板上に形成されたMo電極層2上に、電極層2に隣接するIn金属層とCu-Ga合金層とをスパッタリング法により積層して成るプリカーサを形成する第1工程と、このプリカーサ付き基板1に対して浸漬法によりモリブデン酸ナトリウム(Na↓2MoO↓4)含有水溶液を付着する第2工程と、これらの第1及び第2の両工程を経た基板1に対してセレン化処理を行う。その後に導電透明電極形成工程を経て得られる薄膜太陽電池は、高い光電変換効率と良好な製品外観を備えるものとなる。
実施実績 【有】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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