元素分析装置

開放特許情報番号
L2014001539
開放特許情報登録日
2014/8/29
最新更新日
2017/10/2

基本情報

出願番号 特願2014-544557
出願日 2013/10/30
出願人 国立大学法人京都大学
公開番号 WO2014/069530
公開日 2014/5/8
登録番号 特許第6179994号
特許権者 国立大学法人京都大学
発明の名称 元素分析装置
技術分野 機械・加工、化学・薬品
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 携帯性に優れた小型の元素分析装置
目的 試料中の含有量が少ない元素であっても、外乱ノイズの少ない、高感度の分析を行うことができる焦電結晶を用いた元素分析装置を提供する。
効果 試料が電子線の照射範囲とほぼ同じ大きさであるか、該照射範囲よりも大きければ、外乱ノイズとなる試料載置面からのX線の発生を抑えることができる。
空気中に存在するエアロゾル等の微小物質や鉄鋼中に存在する酸化物や硫化物等の介在物や、空気中に存在するエアロゾル等の微粒子の分析が可能となる。
試料載置面に載置された試料から発生する特性X線の強度が低下するが、外乱ノイズの発生を抑えたため、たとえ特性X線の強度が低くても、試料中に含まれる元素の高感度な定性・定量分析を行うことができる。
技術概要
本発明に係る元素分析装置は、
真空容器と、
前記真空容器内に配置された焦電結晶と、
前記焦電結晶の温度を変化させる温度変化手段と、
前記焦電結晶の分極面の一方を覆う、該焦電結晶に比べて低い誘電率を有する絶縁体部材と、
前記焦電結晶の前記一方の分極面に立設された、前記絶縁体部材から突出する突出端を有する導電性の針と、
前記真空容器内に配置された、前記針の突出端の延長線と交差する試料載置面を有すると共に、前記焦電結晶の他方の分極面と電気的に接続され、かつ、接地された導電性の試料台と、
前記試料載置面に載置された試料から放出される特性X線を検出するX線検出手段と、
を備えることを特徴とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【有】   
Copyright © 2017 INPIT