窒化タンタルの製造方法

基本情報

出願番号	特願2014-039647
出願日	2014/2/28
出願人	国立大学法人信州大学
公開番号	特開2015-071525
公開日	2015/4/16
登録番号	特許第6376776号
特許権者	国立大学法人信州大学
発明の名称	窒化タンタルの製造方法
技術分野	無機材料、化学・薬品、機械・加工
機能	材料・素材の製造
適用製品	窒化タンタルの製造方法
目的	１段階プロセスで、結晶性の良好な窒化タンタル結晶層を効率よく得る方法を提供する。
効果	１段階プロセスで、結晶性の良好な窒化タンタル結晶層を効率よく得る方法を提供し得る。
技術概要	タンタル基板表面、または基板上のタンタル皮膜表面を親水化処理すること；フラックス水性溶液またはペーストを前記基板表面または皮膜表面に塗布すること；ならびに塗布された表面を含む基板を窒素源含有雰囲気中で加熱し、ついで冷却することにより基板上に窒化タンタル（Ta↓3N↓5)結晶層を形成することを特徴とする窒化タンタルの製造方法。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

アピール内容	譲渡についての可・不可はその時の状況によります。

登録者名称	株式会社信州ＴＬＯ