| 出願番号 |
特願2011-266969 |
| 出願日 |
2011/12/6 |
| 出願人 |
国立大学法人九州工業大学 |
| 公開番号 |
特開2012-137484 |
| 公開日 |
2012/7/19 |
| 登録番号 |
特許第5892591号 |
| 特許権者 |
国立大学法人九州工業大学 |
| 発明の名称 |
三次元表面の計測装置及び方法 |
| 技術分野 |
情報・通信、電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造、表面処理 |
| 適用製品 |
三次元表面の計測装置及び方法 |
| 目的 |
光学的フーリエ変換を採用し、CMP用研磨パッドの複雑な表面形状を実時間でそのまま定量的に（水平および高さ方向共に）評価可能にする。 |
| 効果 |
CMP用研磨パッドの複雑な表面形状を実時間でそのまま定量的に（水平および高さ方向共に）評価することができる。これによって、半導体基板などの研磨パッドの三次元表面凹凸を瞬時に計測し、さらなる生産性が可能になる。
また、研磨パッドとコンディショニング条件を実時間適正評価することにより、CMPプロセスの歩留まりの改善や生産性の向上、いわゆる高能率CMPを実現できる。 |
技術概要
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評価すべき三次元の微小凹凸面の上に溶液を介して溶液層定常化基板を載置する。レーザ照射部は、溶液層定常化基板を通して単一波長光のレーザ光を微小凹凸面に照射する。微小凹凸面から散乱及び回折した光を光学的にフーリエ変換したフーリエ変換像をフーリエ変換像取得部で取得する。このフーリエ変換像を、信号変換器により光強度分布として電気信号に光電変換する。この取得した光強度分布の波形を、基本波数及び少なくとも一つの高調波数に分解したそれぞれの波長とその振幅をスペクトル情報として抽出して、三次元の微小凹凸面の形状を評価する。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)