| 出願番号 |
特願2011-034193 |
| 出願日 |
2011/2/21 |
| 出願人 |
国立大学法人京都大学 |
| 公開番号 |
特開2012-173076 |
| 公開日 |
2012/9/10 |
| 登録番号 |
特許第5737749号 |
| 特許権者 |
国立大学法人京都大学 |
| 発明の名称 |
光子ビーム走査装置及び光子ビーム走査方法 |
| 技術分野 |
電気・電子、情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造、制御・ソフトウェア |
| 適用製品 |
光子ビーム走査装置及び光子ビーム走査方法 |
| 目的 |
電子ビームとレーザ光との衝突を簡単に実現することが可能となる光子ビーム走査装置及び光子ビーム走査方法を提供する。 |
| 効果 |
本発明によれば、光子ビームの発生方向を変化させる場合においても、電子ビームとレーザ光との衝突を簡単に実現することが可能となる。
これにより、非破壊検査を行う場合、光子ビームの放射方向を変化させることができ、対象物を所定の範囲にわたって走査することが可能となる。 |
技術概要
 |
発生させた電子ビームＥ及びレーザ光Ｒの経路を制御して電子ビームＥとレーザ光Ｒとを衝突させる。電子ビームＥの経路を制御して仮想的に設定された楕円１０の第１焦点１１に電子ビームＥを入射させると共に当該第１焦点１１への入射角度を変化させる電子ビーム制御部７と、楕円１０の第２焦点１２から当該楕円１０の一部へと向かうレーザ光Ｒの進行方向を変化させるレーザ光制御部８と、楕円１０の一部に沿った反射面１９を有し、第２焦点１２から当該反射面１９に入射したレーザ光Ｒを反射させて電子ビームＥの反対側から第１焦点１１に入射させる楕円面ミラー９とを有している。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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