出願番号 |
特願2011-034193 |
出願日 |
2011/2/21 |
出願人 |
国立大学法人京都大学 |
公開番号 |
特開2012-173076 |
公開日 |
2012/9/10 |
登録番号 |
特許第5737749号 |
特許権者 |
国立大学法人京都大学 |
発明の名称 |
光子ビーム走査装置及び光子ビーム走査方法 |
技術分野 |
電気・電子、情報・通信 |
機能 |
機械・部品の製造、制御・ソフトウェア |
適用製品 |
光子ビーム走査装置及び光子ビーム走査方法 |
目的 |
電子ビームとレーザ光との衝突を簡単に実現することが可能となる光子ビーム走査装置及び光子ビーム走査方法を提供する。 |
効果 |
本発明によれば、光子ビームの発生方向を変化させる場合においても、電子ビームとレーザ光との衝突を簡単に実現することが可能となる。
これにより、非破壊検査を行う場合、光子ビームの放射方向を変化させることができ、対象物を所定の範囲にわたって走査することが可能となる。 |
技術概要
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発生させた電子ビームE及びレーザ光Rの経路を制御して電子ビームEとレーザ光Rとを衝突させる。電子ビームEの経路を制御して仮想的に設定された楕円10の第1焦点11に電子ビームEを入射させると共に当該第1焦点11への入射角度を変化させる電子ビーム制御部7と、楕円10の第2焦点12から当該楕円10の一部へと向かうレーザ光Rの進行方向を変化させるレーザ光制御部8と、楕円10の一部に沿った反射面19を有し、第2焦点12から当該反射面19に入射したレーザ光Rを反射させて電子ビームEの反対側から第1焦点11に入射させる楕円面ミラー9とを有している。 |
実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【可】
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特許権実施許諾 |
【可】
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