光子ビーム走査装置及び光子ビーム走査方法

開放特許情報番号
L2014001427
開放特許情報登録日
2014/8/15
最新更新日
2015/6/18

基本情報

出願番号 特願2011-034193
出願日 2011/2/21
出願人 国立大学法人京都大学
公開番号 特開2012-173076
公開日 2012/9/10
登録番号 特許第5737749号
特許権者 国立大学法人京都大学
発明の名称 光子ビーム走査装置及び光子ビーム走査方法
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 光子ビーム走査装置及び光子ビーム走査方法
目的 電子ビームとレーザ光との衝突を簡単に実現することが可能となる光子ビーム走査装置及び光子ビーム走査方法を提供する。
効果 本発明によれば、光子ビームの発生方向を変化させる場合においても、電子ビームとレーザ光との衝突を簡単に実現することが可能となる。
これにより、非破壊検査を行う場合、光子ビームの放射方向を変化させることができ、対象物を所定の範囲にわたって走査することが可能となる。
技術概要
発生させた電子ビームE及びレーザ光Rの経路を制御して電子ビームEとレーザ光Rとを衝突させる。電子ビームEの経路を制御して仮想的に設定された楕円10の第1焦点11に電子ビームEを入射させると共に当該第1焦点11への入射角度を変化させる電子ビーム制御部7と、楕円10の第2焦点12から当該楕円10の一部へと向かうレーザ光Rの進行方向を変化させるレーザ光制御部8と、楕円10の一部に沿った反射面19を有し、第2焦点12から当該反射面19に入射したレーザ光Rを反射させて電子ビームEの反対側から第1焦点11に入射させる楕円面ミラー9とを有している。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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