電極構造要素と振動構造要素を近接して配置する方法およびこれを用いたMEMSデバイス

開放特許情報番号
L2014001275
開放特許情報登録日
2014/7/18
最新更新日
2015/3/26

基本情報

出願番号 特願2010-166015
出願日 2010/7/23
出願人 学校法人立命館
公開番号 特開2012-029052
公開日 2012/2/9
登録番号 特許第5671742号
特許権者 学校法人立命館
発明の名称 電極構造要素と振動構造要素を近接して配置する方法およびこれを用いたMEMSデバイス
技術分野 電気・電子、輸送
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 電極構造要素と振動構造要素を近接して配置する方法、狭ギャップを有するMEMSデバイス
目的 対向して配置された電極構造要素(駆動電極)と振動構造要素(振動ビームなど)を近接して配置する方法、及びこれを用いたMEMS共振器の提供。
効果 本発明により、電極構造要素と振動構造要素を近接して配置する方法と、これを用いたMEMSデバイスが提供された。
本発明によれば、2つの電極構造要素を近接配置することが容易に可能となり、MEMS共振器に適用した場合には、高周波化が容易で、かつ、周波数可変機構も備えることが可能となる。
さらに、当該MEMS共振器はワンチップ集積化が可能であり、半導体集積回路の高度化にも有効で携帯型通信機などの高機能化に寄与できる。
また、多周波数通信では、ユビキタス環境の構築に利用できる。
技術概要
スライダに連結した電極構造要素12と、振動構造要素13とを離れた状態で形成し、加工終了後に、スライダ20に設けられたスライド機構で電極構造要素12を振動構造要素13に近接配置させることにより、1マイクロメータ以下の距離で対向させることができる。この結果、従来技術でもMEMS共振器の特性向上が容易に達成される。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 立命館大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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