MEMSスイッチ

開放特許情報番号
L2014001250
開放特許情報登録日
2014/7/18
最新更新日
2014/7/18

基本情報

出願番号 特願2011-260751
出願日 2011/11/29
出願人 学校法人立命館
公開番号 特開2013-114935
公開日 2013/6/10
発明の名称 MEMSスイッチ
技術分野 電気・電子、輸送
機能 機械・部品の製造
適用製品 MEMSスイッチの特性を改善するための構成と駆動法、MEMSデバイス
目的 駆動電圧の低減化とMEMSスイッチ特性の向上を両立させる。
効果 MEMSスイッチの特性劣化をもたらす構造変更をすることなく、駆動電圧を大幅に減少させることが可能である。
接点の付着効果に起因するスイッチの「焼き付き」を防止でき、長寿命化が実現でき、長期信頼性に優れたMEMSスイッチを提供できる。
大電力用途向けのシステムに本発明のMEMSスイッチを使用することが可能である。
高速に動作するために、スイッチング時間の短縮が可能となり、スイッチの高速化を実現することができた。
技術概要
可動構造体と固定電極を有するMEMSスイッチにおいて、
指定された第一の交流電圧と指定された第一の直流電圧とを重畳させた信号を供給し、
前記可動構造体を機械的に振動させることにより、メイク動作を誘起し、
前記第一の交流電圧を指定された第二の交流電圧に変化させ、かつ、前記第一の直流電圧を指定された第二の直流電圧に変化させた信号により、
前記メイク動作を維持し、
前記第二の交流電圧を指定された第三の交流電圧に変化させ、かつ、前記第二の直流電圧を指定された第三の直流電圧に変化させた信号により、
ブレーク動作を誘起する
ことを特徴とするMEMSスイッチ。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 立命館大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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