熱感知型加速度センサ

開放特許情報番号
L2014001245
開放特許情報登録日
2014/7/18
最新更新日
2016/3/23

基本情報

出願番号 特願2011-242107
出願日 2011/11/4
出願人 学校法人立命館
公開番号 特開2013-096936
公開日 2013/5/20
登録番号 特許第5870374号
特許権者 学校法人立命館
発明の名称 熱感知型加速度センサ
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 加速度を検出するための加速度センサ
目的 Z軸方向の加速度による温度変化をより大きな温度変化量として捉えることにより、Z軸方向の感度を向上させるとともに、それぞれの軸方向の温度検出素子において、別方向の加速度による出力が干渉することを軽減してそれぞれの軸方向の加速度の測定精度を向上させる熱感知型加速度センサを提供する。
効果 Z軸方向の感度を向上させることができるとともに、Z方向に加速度が生じた場合とセンサ基板平面に対して平行な方向に加速度が生じた場合の出力の干渉を軽減し、加速度の測定精度を向上させることができる。
様々な条件に応じて第2温度検出素子を適切な高さに設けることができ、応用性に優れている。
例えば、携帯電話、カーナビゲーションシステム、ロボット、及び人工衛星等の位置制御や姿勢制御を伴うような装置に備えられる高精度な加速度センサとして有効に利用することができる。
技術概要
センサ基板3に、密封された流体を加熱するためのヒーター4と、センサ基板3平面に対して平行な方向に加わる加速度を求めるためにヒーター4よりも外側の位置で流体の温度を検出する第1温度検出素子6と、センサ基板3平面に対して垂直な方向に加わる加速度を求めるために、ヒーター4よりも内側の位置で流体の温度を検出する第2温度検出素子8とが設けられた熱感知型加速度センサ1であって、第2温度検出素子8は、ヒーター4が配置される平面よりも高い位置に設けられている熱感知型加速度センサ1。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 立命館大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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