| 出願番号 |
特願2008-155283 |
| 出願日 |
2008/6/13 |
| 出願人 |
株式会社ミツトヨ |
| 公開番号 |
特開2009-300264 |
| 公開日 |
2009/12/24 |
| 登録番号 |
特許第5058080号 |
| 特許権者 |
株式会社ミツトヨ |
| 発明の名称 |
光学式変位測定器 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
光学式変位測定器 |
| 目的 |
傾斜面や曲面などの測定面を有する被測定物を良好に測定可能な光学式変位測定器を提供する。 |
| 効果 |
本発明は、測定面に焦点位置を合わせるように、対物レンズまたはフォーカシングレンズ位置を移動させ、この対物レンズまたはフォーカシングレンズの移動から測定面の形状を測定する光学式変位測定器に利用できる。特に、傾斜面や曲面などの測定面を有する被測定物の測定に好適である。
正しいフォーカシングを行うことができ、偽のフォーカシングにより、測定面形状にない、浮き上がりや沈み込みが生じる恐れを回避できる。
また、測定面の傾きによる誤差を少なくできる。 |
技術概要
 |
第１反射光の結像点の前および第２反射光の結像点の後に、複数の受光素子を隣接配列した第１光検出部２３５Ａおよび第２光検出部２３５Ｂを設ける。焦点位置検出回路は、第１光検出部および第２光検出部において、隣接受光素子の受光信号の和の組み合わせの中から最大値を選択する最大値選択手段と、第１光検出部および第２光検出部のそれぞれにおいて全受光素子の受光信号の合計値を求める合計値演算手段と、合計値から最大値を減算して光検出信号を求める光検出信号演算手段と、この各光検出信号の差を焦点位置と測定面とのずれ量に基づく信号としてサーボ回路へ与えるエラー信号演算回路とを備える。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
| 実施権条件 |
＜１＞競合他社（製品）へのライセンスは原則行わない。
＜２＞技術指導は原則行わない。 |
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