| 出願番号 |
特願2007-332296 |
| 出願日 |
2007/12/25 |
| 出願人 |
株式会社ミツトヨ |
| 公開番号 |
特開2009-156613 |
| 公開日 |
2009/7/16 |
| 登録番号 |
特許第5057962号 |
| 特許権者 |
株式会社ミツトヨ |
| 発明の名称 |
光学式変位測定器 |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
光学式変位測定器 |
| 目的 |
傾斜面や曲面などの測定面を有する被測定物を良好に測定可能な光学式変位測定器を提供する。 |
| 効果 |
本発明は、測定面に焦点位置を合わせるように、対物レンズまたはフォーカシングレンズ位置を移動させ、この対物レンズまたはフォーカシングレンズの移動から測定面の形状を測定する光学式変位測定器に利用できる。特に、傾斜面や曲面などの測定面を有する被測定物の測定に好適である。
正しいフォーカシングを行うことができ、偽のフォーカシングにより、測定面形状にない、浮き上がりや沈み込みが生じる虞を回避できる。
さらに、測定面の傾斜の向きに拘わらず、測定面の形状を高精度に測定できる。 |
技術概要
 |
対物レンズ１７０の焦点位置を測定面９０１に一致させる焦点合わせ手段２２０を備える。焦点合わせ手段は、測定面から反射された反射光を２つに分割し、その第１反射光、第２反射光の結像点の前および後にそれぞれ配置された第１，第２受光素子アレイ２３７Ａ，２３７Ｂと、第１，第２受光素子アレイのそれぞれにおいて予め定めたエリア内の複数の画素で受光される受光信号のうち最も明るい画素からｎ（整数）番目までの画素の受光信号を除外して残りの画素の受光信号の合計値を求める受光信号演算手段（焦点位置検出回路２３２）とを備える。これらの受光信号合計値が等しくなるように、フォーカシングレンズ１３０の位置を制御して対物レンズの焦点位置を測定面に一致させる。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
| 実施権条件 |
＜１＞競合他社（製品）へのライセンスは原則行わない。
＜２＞技術指導は原則行わない。 |
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