走査型プローブ顕微鏡

開放特許情報番号
L2014001063
開放特許情報登録日
2014/6/17
最新更新日
2015/11/26

基本情報

出願番号 特願2014-050004
出願日 2014/3/13
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2015-175626
公開日 2015/10/5
発明の名称 走査型プローブ顕微鏡
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 走査型プローブ顕微鏡
目的 先鋭試料の先端にもプローブの位置合わせが可能であり、先鋭試料先端の観測を行うことができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。
効果 先鋭試料の先端にもプローブの位置合わせが可能であり、先鋭試料先端の観測を行うことができる走査型プローブ顕微鏡を提供することができる。
技術概要
先鋭試料を保持するための試料台と、前記試料台の上に設置され、前記試料を上方向から拡大観察するための拡大観察手段と、前記先鋭試料に光を横方向から照射する光源と、前記先鋭試料の先端面を走査するためのプローブと、前記プローブが端部に設置されたカンチレバーと、前記プローブの先端を前記先鋭試料の先端面に位置合わせするための微動手段と、を備え、前記光源が横方向から前記先鋭試料に光を照射することにより、上方向から観察したときに前記先鋭試料の先端が光るようにせしめ、前記微動手段により前記プローブ先端を前記先鋭試料の先端に位置合わせすることを可能とする走査型プローブ顕微鏡。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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