圧力センサの製造方法および圧力センサ

開放特許情報番号
L2014001032
開放特許情報登録日
2014/6/9
最新更新日
2014/6/9

基本情報

出願番号 特願2000-202754
出願日 2000/7/4
出願人 日本放送協会、株式会社 東北テクノアーチ
公開番号 特開2002-027595
公開日 2002/1/25
登録番号 特許第3945613号
特許権者 日本放送協会
発明の名称 圧力センサの製造方法および圧力センサ
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 機械・部品の製造
適用製品 圧力センサの製造方法および圧力センサ
目的 簡単な工程で、迅速に且つ安定してコンデンサ型音響・圧力センサを製造する。
効果 簡単な工程で、迅速に且つ安定して圧力センサを製造することができる。また、本発明によれば、寄生容量を低減して感度を向上させることができる。
技術概要
所定間隔で対向する振動板および背面板から成る対向電極を形成する際に、前記振動板および前記背面板のいずれか一方の全面に、硼素またはリンを高濃度に含む粉体酸化珪素を堆積して接着層を形成し、前記接着層を形成した前記振動板および前記背面板のいずれか一方と、前記振動板および前記背面板の他方とを、合わせて前記接着層を熱処理することによって面内一様に接着して前記振動板および前記背面板間に前記熱処理後の接着層からなる絶縁層を形成し、前記対向電極の周辺部の絶縁層を残して周辺部以外の絶縁層を取り去ることによって、前記振動板および前記背面板間に所定の間隙を形成することを特徴とする圧力センサの製造方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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