圧力センサ及びその製造方法

開放特許情報番号
L2014001024
開放特許情報登録日
2014/6/9
最新更新日
2014/6/9

基本情報

出願番号 特願2005-108773
出願日 2005/4/5
出願人 日本放送協会、パナソニック株式会社
公開番号 特開2006-287165
公開日 2006/10/19
登録番号 特許第4975265号
特許権者 日本放送協会
発明の名称 圧力センサ及びその製造方法
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア、加圧・減圧
適用製品 圧力センサ及びその製造方法
目的 感度をほぼ一定に維持してダンピングを低減することができる圧力センサ及びその製造方法を提供する。
効果 感度をほぼ一定に維持してダンピングを低減することができるという効果を有する圧力センサ及びその製造方法を提供することができる。
本発明の圧力センサは、感度をほぼ一定に維持してダンピングを低減することができ、新たな設備投資を必要としないので、製造コストを増大させることなく開口率を上げてダンピングを低減することができる。
また、本発明の圧力センサの製造方法は、種々の周波数特性を有する圧力センサを同時に作製することができる。
技術概要
圧力センサ10は、音波による音圧変化に応じて振動する振動板11aと、空隙部16を介して振動板11aと対向配置された背面板12と、半導体基板11上に設けられた電極17と、背面板12上に設けられた電極18とを備え、背面板12は複数の貫通穴15を含み、貫通穴15は、背面板12の下面に形成された長方形状の開口部15aと、背面板12の上面に形成された長方形状の開口部15bと、下面から上面に向かって広がる4つのテーパ状の内壁面15cとで構成され、開口部15aは、所定の開口率を有するよう網目状に仮配置された複数の仮開口部20の形状に基づいて設定される。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1  

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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