静電容量型センサ

開放特許情報番号
L2014001023
開放特許情報登録日
2014/6/9
最新更新日
2014/6/9

基本情報

出願番号 特願2006-141689
出願日 2006/5/22
出願人 日本放送協会、パナソニック株式会社
公開番号 特開2007-309892
公開日 2007/11/29
登録番号 特許第4944494号
特許権者 日本放送協会
発明の名称 静電容量型センサ
技術分野 情報・通信、電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 静電容量型センサ
目的 特別な工程や作業を付加することなく、電気的特性や信頼性の低下を防止することができる静電容量型センサを提供する。
効果 特別な工程や作業を付加することなく、電気的特性や信頼性の低下を防止することができるという効果を有する静電容量型センサを提供することができる。
本発明の静電容量型センサは、従来のものよりも、周波数特性の調整の自由度を高めることができ、電気的特性の向上を図ることができる。特別な工程や作業を付加することなく、電気的特性や信頼性の低下を防止することができるという効果を有し、音を検知するシリコンマイクロホン、圧力を検知する静電容量型圧力センサ、加速度を検知する静電容量型加速度センサ等として有用である。
技術概要
シリコンマイクロホン10は、音波による音圧変化に応じて振動する振動膜12を含むシリコン基板11と、振動膜12と対向配置された背面板13と、振動膜12と背面板13との間に設けられた絶縁体14aと、振動膜12とマスク板15との間に設けられた絶縁体14bと、シリコン基板11の面の一部を覆うマスク板15と、振動膜12と背面板13との間に形成された第1空隙部16とを備え、マスク板15は、絶縁体14aと同一の部材で形成された絶縁体14bに保持され、背面板13を取り囲むように背面板13の外縁から寸法dの第2空隙部17を隔てて設けられ、音響孔15aを有する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1  

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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