表面形状の計測方法

開放特許情報番号
L2014000930
開放特許情報登録日
2014/5/22
最新更新日
2015/10/26

基本情報

出願番号 特願2014-109489
出願日 2014/5/27
出願人 国立大学法人 新潟大学
公開番号 特開2015-017968
公開日 2015/1/29
発明の名称 レーザ走査型干渉計及び表面形状の計測方法
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出
適用製品 レーザ走査型干渉計、それを用いた表面形状の計測方法
目的 レーザ走査型干渉計を用いて、簡単な操作で、かつ、広い面積の測定を短時間で行うことのできる、表面形状の計測方法を提供する。
効果 本発明のレーザ走査型干渉計と表面形状の計測方法によれば、参照平面が金属薄膜により構成されていることにより、一回の測定で高低関係が判別可能な干渉縞パターンが得られる。このため、干渉縞の高低関係を判別するための、位相シフト法のような参照板を移動させる操作が不要となり、簡単な操作で表面形状を計測することができる。また、干渉縞の高低関係を判別するための、位相シフト法のような参照板を移動させて行う同じ箇所での複数回の測定が不要となり、広い面積の表面形状を短時間で計測することができる。
技術概要
レーザ光源と、
該レーザ光源からのレーザ光を反射して走査光に変換する走査ミラーと、
該走査ミラーからの走査光を参照平面及び被観察面に垂直に照射するとともに、前記参照平面及び被観察面からの反射光を平行光束に変換するテレセントリックfθレンズと、
前記反射光の平行光束を集光する結像レンズと、
前記結像レンズにより集光されてピンホールを通過した前記反射光の光量を計測する受光素子と、
該受光素子で計測した光量から前記被観察面で生じる干渉縞の画像データを作成する演算手段と、
を有するレーザ走査干渉計において、
前記参照平面を、透明材料基板に金属薄膜を成膜した参照板により構成することを特徴とするレーザ走査干渉計。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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