微細霧化粒子洗浄装置

基本情報

出願番号	特願2005-212039
出願日	2005/7/22
出願人	本多電子株式会社
公開番号	特開2007-035662
公開日	2007/2/8
登録番号	特許第4759760号
特許権者	本多電子株式会社
発明の名称	微細霧化粒子洗浄装置
技術分野	電気・電子、機械・加工
機能	機械・部品の製造、洗浄・除去
適用製品	半導体ウエハ・液晶硝子基板等の洗浄装置
目的	半導体ウエハ・液晶硝子基板等に付着している微細粒子を除去することが可能で、さらに洗浄後の乾燥を不要とする。
効果	・半導体ウエハ・液晶硝子基板等に付着している微細粒子を除去出来る・洗浄後の乾燥が不要
技術概要	超音波振動子により霧化された霧化粒子を、デミスタ部のフィルタを通すことで大経の霧化粒子を除去し、微細な霧化粒子のみをノズル部から被洗浄体に吹き付けることにより、被洗浄体の表面に付着している微細粒子を除去する。
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【否】
特許権実施許諾	【可】

登録者名称	本多電子株式会社