ポリ(イミド−アゾメチン)共重合体、ポリ(アミド酸−アゾメチン)共重合体及びポジ型感光性樹脂組成物

開放特許情報番号
L2014000900
開放特許情報登録日
2014/5/21
最新更新日
2014/5/21

基本情報

出願番号 特願2004-253632
出願日 2004/8/31
出願人 ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社
公開番号 特開2006-070117
公開日 2006/3/16
登録番号 特許第4811553号
特許権者 ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社
発明の名称 ポリ(イミド−アゾメチン)共重合体、ポリ(アミド酸−アゾメチン)共重合体及びポジ型感光性樹脂組成物
技術分野 有機材料、情報・通信
機能 材料・素材の製造
適用製品 ポリ共重合体及びその製造方法、ポジ型感光性樹脂組成物、微細パターン製造方法
目的 低線熱膨張係数を有するポリ(イミド−アゾメチン)共重合体及びその製造方法、その前駆体であるポリ(アミド酸−アゾメチン)共重合体とその共重合体と感光剤とからなるポジ型感光性組成物、この組成物からポリ(イミド−アゾメチン)共重合体の微細パターンを得る微細パターン製造方法を提供する。
効果 ポジ型感光性樹脂組成物を利用すれば、低誘電率、低熱膨張係数、高ガラス転移温度を有するポリ(イミド−アゾメチン)共重合体の微細パターンを形成することができる。従って、本発明のポリ(イミド−アゾメチン)共重合体は、半導体素子の保護膜や集積回路の層間絶縁膜など様々な電子デバイスに有利に利用することができる。
技術概要
式(1)のアゾメチン重合単位及び式(3)のアミド酸重合単位からなるポリ(アミド酸−アゾメチン)共重合体と、ジアゾナフトキノン系感光剤とを含有するポジ型感光性樹脂組成物であって、
該ポリ(アミド酸−アゾメチン)共重合体が、式(1)のモル分率をXとし、式(3)のモル分率を1−Xとしたときに、Xが0.05〜0.95の範囲の配合組成を有し、且つ0.1dL/g以上の固有粘度を有するポジ型感光性樹脂組成物。
(式(1)及び式(3)において、A及びDはそれぞれ二価の芳香族基又は脂肪族基を表し、Bは四価の芳香族基又は脂肪族基を表す。)
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

アピール内容 ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社は、デクセリアルズ株式会社の旧社名です

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【有】   
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