合金薄膜生成装置

開放特許情報番号
L2014000802
開放特許情報登録日
2014/5/14
最新更新日
2016/12/23

基本情報

出願番号 特願2012-195690
出願日 2012/9/6
出願人 学校法人日本大学
公開番号 特開2014-051699
公開日 2014/3/20
登録番号 特許第6031725号
特許権者 学校法人日本大学
発明の名称 合金薄膜生成装置
技術分野 金属材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 合金薄膜生成装置
目的 汎用性が高く、高融点金属を含む合金薄膜であっても安価に生成可能な合金薄膜生成装置を提供する。
効果 汎用性が高く、高融点金属を含む合金薄膜であっても安価に生成可能であるという利点がある。
技術概要
合金薄膜生成装置は、外部導体10と、内部導体20と、プラズマ生成ガス供給部30と、電磁コイル40と、電源回路50と、真空チャンバ60と、ステージ70とからなる。内部導体20は、外部導体10の内部に同軸状に配置され、生成すべき合金薄膜の原料となる各種金属からそれぞれ形成される複数の金属片21を選択可能に組み合わせて棒状に構成される。真空チャンバ60は、外部導体10と内部導体20との間に発生するプラズマが放出される。ステージ70は、内部導体20の軸方向に垂直に合金薄膜2を生成する面を対向させるように、真空チャンバ60内に基板1を固定する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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