多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液及び該塗布液を用いた多成分系酸化物半導体膜の製造方法

開放特許情報番号
L2014000678
開放特許情報登録日
2014/4/24
最新更新日
2016/10/7

基本情報

出願番号 特願2013-263412
出願日 2013/12/20
出願人 国立研究開発法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2014-143403
公開日 2014/8/7
発明の名称 多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液及び該塗布液を用いた多成分系酸化物半導体膜の製造方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、加熱・冷却
適用製品 多成分系酸化物半導体膜の製造方法
目的 スクリーン印刷、転写印刷など高い粘度が必要な印刷法から、中程度の粘度が必要なグラビア印刷、フレキソ印刷などの印刷法によって成膜およびパターンニングが可能で、焼成によって半導体電気特性を有する透明酸化物半導体膜を得ることが可能な多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液を提供する。
効果 高粘度化を実現でき、さらに簡単な溶媒希釈によって低粘度にすることもできるため、あらゆる印刷手法をカバーできる。また、塗布後の焼成膜が好ましい半導体特性を有していることから、プリンテッドエレクトロニクス、ディスプレイ、センサ、タッチパネル、デジタルサイネージ、スマート建材等の各種電子デバイス作製に利用することができる。
技術概要
水に複数の金属の塩及び尿素を溶解した水溶液に、主たる有機溶剤としてヒドロキシル基を有するアミン又は含酸素複素環式アミンを加えて攪拌し、常圧で100℃から前記主たる有機溶媒の沸点の間の温度で加熱することにより、室温での粘度が0.5Pa・s以上の、多成分系酸化物半導体の前駆体塗布液を得る。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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