イオン源

開放特許情報番号
L2014000657
開放特許情報登録日
2014/4/21
最新更新日
2015/7/16

基本情報

出願番号 特願2006-105898
出願日 2006/4/7
出願人 国立大学法人京都大学、日新イオン機器株式会社
公開番号 特開2007-280782
公開日 2007/10/25
登録番号 特許第4336780号
特許権者 国立大学法人京都大学
発明の名称 イオン源
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 イオン源
目的 平行性の良いイオンビームを引き出すことができるイオン源を提供する。
効果 プラズマ生成容器内において発生する電界および磁界を、イオンビーム引出し方向に対して平行に近づけることができるので、イオンビームの発散要因となる電界および磁界を減少させて、イオンビームの平行性を良くすることができる。更に、イオンの進行方向に向けて減衰している磁界を発生させることによって、イオンが持つ発散速度成分を減少させることができるので、この理由からも、イオンビームの平行性を良くすることができる。上記両作用効果が相俟って、平行性の良いイオンビームを引き出すことができる。
技術概要
このイオン源は、プラズマ生成容器30と、フィラメント42と、電子を反射させると共にイオン52を引き出す反射電極48と、プラズマ生成容器30と同電位に保たれる制御電極46と、イオン52を減速する減速電極50とを備えている。これらは、yz平面に平行な面状をしている。更に、プラズマ生成容器30内にx軸に平行な磁界を発生させる第1コイル54と、イオン52を加速してイオンビーム90として引き出す引出し電極系76と、引出し電極系76付近にx軸に平行な磁界を発生させると共に、第1コイル54と協働して、減速電極50と引出し電極系76間の領域に、イオン52の進行方向に向けて減衰している磁界を発生させる第2コイル86とを備えている。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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