アモルファスカーボン薄膜作製方法

開放特許情報番号
L2014000535
開放特許情報登録日
2014/3/25
最新更新日
2017/3/30

基本情報

出願番号 特願2012-279333
出願日 2007/10/15
出願人 学校法人 東洋大学
公開番号 特開2013-082619
公開日 2013/5/9
登録番号 特許第5392932号
特許権者 学校法人 東洋大学
発明の名称 アモルファスカーボン薄膜作製方法
技術分野 化学・薬品、無機材料、電気・電子
機能 材料・素材の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 アモルファスカーボン薄膜作製方法
目的 簡易にしかも安価に作製することができるアモルファスカーボン薄膜作製方法を提供する。
効果 本発明によれば、簡易にしかも安価に作製することができるアモルファスカーボン薄膜作製方法が提供される。
本発明の方法によれば、低温でアモルファスカーボン薄膜を作製することができるため、熱に弱いタンパク質を用いたバイオ半導体チップなどの作製に使用され得る。
技術概要
超臨界流体セル6の流体層5内に二酸化炭素及び炭化水素を封入し超臨界状態を形成する工程と、流体層5内に紫外波長のレーザー光を照射する工程と、を含むアモルファスカーボン薄膜作製方法。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 学校法人東洋大学

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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