薄膜試料の比表面積測定方法及び装置

開放特許情報番号
L2014000505
開放特許情報登録日
2014/3/11
最新更新日
2016/6/21

基本情報

出願番号 特願2012-032066
出願日 2012/2/16
出願人 国立大学法人広島大学、マツダ株式会社
公開番号 特開2013-167584
公開日 2013/8/29
登録番号 特許第5919024号
特許権者 国立大学法人広島大学、マツダ株式会社
発明の名称 薄膜試料の比表面積測定方法及び装置
技術分野 情報・通信
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 基材上に特定元素を含有する薄膜が設けられている薄膜試料の当該薄膜における特定元素の単位質量当たりの表面積を測定する方法及び装置
目的 基材上で薄膜になった状態の該薄膜が含有する特定元素の単位質量当たりの表面積を精度良く測定することができるようにする。
効果 本発明によれば、基材上で薄膜になった状態での特定元素の比表面積に関する情報を得ることができ、触媒、電池の電極等の表面における特定元素の化学的、物理的ないしは電気的な性能評価に有利になる。
技術概要
特定元素の吸収端前後のX線を基材上の薄膜に照射することによって、X線照射領域の上記特定元素の表面積Sに比例する電子収量Icと、X線照射領域内の上記特定元素の量Mに比例する蛍光X線収量Ifとを求め、この電子収量Icと蛍光X線収量Ifとに基いて、上記薄膜の上記特定元素に係る比表面積SAを算出する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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